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1.設備規(guī)格：（L)1180X(W)995X(H)1768.5mm              

2.真空腔式尺寸：（W）680X（D)705X（H)700             

3.工作高度：1000mm+~-20mm工作臺表面到地面高度）    

4.灌晶玻璃高度尺寸：單層大于200mm(可生產雙層）       

5.抽氣速度：15分鐘達到1帕（空載）                    

6.極限真空度：0.2帕（空載）                          

7.加熱方式：采用板式加熱，頂部采用紅外加熱燈（配燈罩） 

8.充氣流量控制范圍：（0.4~20）L/min                   

9.數顯式真空計：范圍1.33X10~5帕~1X10~-2 帕                   

10.充氣系統：快充與慢充                                 

11.真空機組配置：干泵+羅茨泵